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    MEMS加速度传感器计量检测技术的研究进展
      
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    中文摘要:
          MEMS加速度传感器在计量检测中有着广泛的应用。本文综述了MEMS加速度传感器的发展概况,总结了其分类方法、工作原理及特点,并提出发展趋势。
    英文摘要:
          
    刘宇  鞠文斌  刘羽熙
    [1]中国电子科技集团公司第四十九研究所,黑龙江哈尔滨150001 [2]哈尔滨工业大学,黑龙江哈尔滨150001
    中文关键词:  MEMS加速度传感器  计量检测  研究进展
    英文关键词:
    基金项目:
    DOI：10.11823/hkjcjs.1674-5795.2010.30.4.083.
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