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    校准厚度片测量不确定度评定
    Evaluation of Uncertainity of Measurement about Film Thickness Calibration
      
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    中文摘要:
          分析了用直接法和比较法测量覆层测厚仪校准厚度片厚度的不确定度来源,并就使用两种测量方法所得结果的不确定度进行了评定.
    英文摘要:
          
    王树成  于志刚  李开  欧佳
    王树成,李开,欧佳(中国一航北京长城计量测试技术研究所,北京,100095)
    ;于志刚(山东省科学院激光研究所,山东,济宁,272017)
    ?
    中文关键词:  校准厚度片  覆层测厚仪  测量不确定度
    英文关键词:
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