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    浅谈扩散炉温度测量方法
      
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    中文摘要:
          介绍了扩散炉的温度测量方法,并对扩散炉进行现场测量,通过测量结果对扩散炉温度控制系统进行修正,从而保证了扩散炉性能的稳定可靠.
    英文摘要:
          
    杨桦  杨锦杰
    杨桦(中国电子科技集团公司第二十四研究所,重庆,400060)
    ;杨锦杰(国防科技工业5012二级计量站,重庆,400023)
    ?
    中文关键词:  扩散炉  温度  测量
    英文关键词:
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