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    压陷误差对厚度校准片校准结果的影响
      Revised:March 18, 2008
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    中文摘要:
          主要介绍了在利用数显式电感测微仪对覆层测厚仪厚度校准片进行校准时,由测量力引起的压陷误差对校准结果的影响.
    英文摘要:
          
    王树成  牛立新  唐云卿
    王树成(中国一航北京长城计量测试技术研究所,北京,100095)
    ;牛立新(中国一航北京长城计量测试技术研究所,北京,100095)
    ;唐云卿(武汉大学工学院,湖北,武汉,430072)
    中文关键词:  数显式电感测微仪  覆层测厚仪  厚度校准片  压陷误差  校准
    英文关键词:
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