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    雷尼绍推出全新轻型激光干涉仪测量系统XL-80
      
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    中文摘要:
          在超精密的测量和校准方面，激光干涉仪已经扮演多年极重要的角色。但是近年来，随着自动化位移系统性能的大幅提高，面对半导体和传统金属加工业的需求，现有激光系统的性能已无法满足一些客户的要求。[第一段]
    英文摘要:
          
    中文关键词:  干涉仪测量系统 激光干涉仪 轻型 位移系统 激光系统 超精密 自动化 加工业
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