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    粉末溅射平面薄膜型SnO2/CeO2酒敏元件
    Powder Sputtering Plane Thin-film SnO2/CeO2 Alcohol Sensor
      
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    中文摘要:
          介绍了用粉末溅射做出的两种平面薄膜型酒敏元件的工艺、芯片结构和基本参数测试的结果.
    英文摘要:
          The technics of two kinds of thin film gas sensors made by powder sputtering are introduced. The structure and the experimental results of basic parameters are given in this paper.
    刘晓健  曲鲁  李东华  卫东  裘南畹
    济南半导体研究所，济南半导体研究所，济南半导体研究所，济南半导体研究所，山东大学 山东 济南 250014，山东 济南 250014，山东 济南 250014，山东 济南 250014，山东 济南 250061
    中文关键词:  粉末溅射  薄膜  酒敏元件
    英文关键词:powder sputter,thin film,alcohol sensor
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