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    电容式多孔硅湿敏元件初探
      
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    中文摘要:
          阐述了电容式多孔硅湿敏元件的制备方法,并且研究了它的湿敏特性.实验结果表明:电容式多孔硅湿敏元件的电容值随着湿度的增大而显著增大,在中湿区(43.16%RH～68.86%RH)容湿特性为线性,而且有较小的湿滞.
    英文摘要:
          
    涂楚辙  杨勇兵  贾振红  黄晓辉  李新刚  向梅
    新疆大学信息科学与工程学院，喀什师范学院物理系，新疆大学信息科学与工程学院，新疆大学信息科学与工程学院，新疆大学信息科学与工程学院，新疆大学信息科学与工程学院 新疆 乌鲁木齐 830046，新疆 喀什 844000，新疆 乌鲁木齐 830046，新疆 乌鲁木齐 830046，新疆 乌鲁木齐 830046，新疆 乌鲁木齐 830046
    中文关键词:  多孔硅湿敏元件  湿敏特性  湿滞
    英文关键词:
    基金项目:国家自然科学基金
    DOI：
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