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几种高纯气体中微量氧的测定方法
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中文摘要
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在人类所处的大气环境中,氧占20.95%,氧气无处不在,无孔不入.如何控制和防范氧的干扰成为化工、冶金、电子等行业所必须面对的问题.若保护气中氧含量过高,会使化工产品出现质量问题,甚至发生安全事故;在电子器件制造过程中,氧含量过高会造成器件性能退化,寿命缩短.
英文摘要
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王艳
王津文
中国石油化工公司天津分公司,天津,300100
中文关键词
:
微量氧 测定方法 高纯气体 电子器件 化工产品 大气环境 质量问题 安全事故 制造过程
英文关键词
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基金项目
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DOI:
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