一种激光干涉仪外部测量触发电路
Received:February 25, 2005  
HTML  View Full Text  View/Add Comment  Download reader
中文摘要:
      激光干涉仪因其具有较高的测量精度而被广泛地应用。在使用激光干涉仪(以Agilent5529A激光动态干涉校准仪为例)测量工件的实际尺寸(长度)时,需要用测头去探触工件,以取得工件的实际位置,因此需要有一触发装置,来感知测头是否探触了工件。本文设计了一个触发电路,能够使激光干涉仪实现这一功能。
英文摘要:
      
刘宁
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津300072
中文关键词:  激光干涉仪 测量精度 触发电路 实际尺寸 触发装置 工件 校准仪 测头
英文关键词:
基金项目:
DOI:
Close