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一种激光干涉仪外部测量触发电路
Received:February 25, 2005
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中文摘要
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激光干涉仪因其具有较高的测量精度而被广泛地应用。在使用激光干涉仪(以Agilent5529A激光动态干涉校准仪为例)测量工件的实际尺寸(长度)时,需要用测头去探触工件,以取得工件的实际位置,因此需要有一触发装置,来感知测头是否探触了工件。本文设计了一个触发电路,能够使激光干涉仪实现这一功能。
英文摘要
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刘宁
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津300072
中文关键词
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激光干涉仪 测量精度 触发电路 实际尺寸 触发装置 工件 校准仪 测头
英文关键词
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基金项目
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DOI:
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