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满足一等量块检定要求的接触式激光量块干涉仪
A Type of Contact Laser Gauge Block Interferometer Meeting the Calibrating Requirement of Grade 1 Gauge Block
Revised:February 28, 2002
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中文摘要
:
最新研制的接触式激光量块干涉仪主要用于测量一、二等量块的中心长度,其长度测量不确定度达到(0.02 0.2L)μm。文中介绍了其工作原理、测量不确定度分析,给出了量块测量的验证数据。
英文摘要
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赵静
王承钢
杨自本
汪德宝
牛立新
崔岩梅
中国航空长城计量测试技术研究所 北京100095 (赵静,王承钢,杨自本,汪德宝,牛立新)
,中国航空长城计量测试技术研究所 北京(崔岩梅)
中文关键词
:
量块 检定 接触式激光量块干涉仪 工作原理
英文关键词
:
gauge block,verification,type of contact,laser gauge block interferometer
基金项目
:
DOI:
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