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    双光束补偿扫描系统
    System of scanning by Dual-laser beam Compensation
      
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    中文摘要:
          提出一种新的高精度大型平面扫描仪。利用双光束补偿系统，扫描头由一特殊光路组成。当入射光通过此光路后，产生对称输出的两束光。当入射光发生角漂或扫描头发生摆动时，输出的两束光对称上下漂移，其中心线保持不变，故扫描形成的基准面保持不变，从而大大提高了测量精度。经实验证明，测量精度优于2．5×10－6。
    英文摘要:
          
    刘兴占  梁晋文
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    中文关键词:  双光束补偿,准直,大平面,扫描仪,平面度
    英文关键词:Duel-laser beam comrensation,Collimator, Large plate, Scanning, Flatness
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