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    一种平面干涉系统的误差分离技术
      
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    中文摘要:
          给出一个干涉系统等效平面和被测平面形貌的数学模型，用于分离仪器的系统误差，以提高面形和长度测量的精度。
    英文摘要:
          
    严家骅  任冬梅
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    中文关键词:  平面检测 干涉仪 误差分离
    英文关键词:
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