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    SC—2A光栅检测闭环伺服控制系统动态特性分析
    Dynamic Performance Analysis of SC-2A Grating Measurement System with A Close-Loop Servo Controller
      
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    中文摘要:
          从提高系统定位精度出发，对SC—2A光栅检测闭环伺服控制系统的动态特性进行了理论分析，并给出了一种微机实时动态控制方法。
    英文摘要:
          The dynamic performance analysis of SC-2A grating measurement system with a close -loop servo controller and a control method using microcomputer is described in this paper.
    张国玉  张从周
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    中文关键词:  光栅 闭环控制 动态特性 伺服控制
    英文关键词:Grating, Close-loop, Control, Dynamic performance,
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