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    激光测振仪用于微梁和AFM探针振动测量
    Applying Laser Fibre Optic Vibrometer to Measuring Vibration Characteristics of Microcantilever and AFM Probe
      
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    中文摘要:
          激光光纤测振仪将直径小于200μm的激光光斑会聚于Si微悬臂梁和AFM探针上，分别由静电场和PZT进行激振，实现了激光微结构振动特性非接触测量，并给出了测量结果。
    英文摘要:
          
    王佳
    清华大学精密仪器系!北京市，100084
    中文关键词:  激光测振仪 微梁 AFM探针 光纤 测振 振动特性
    英文关键词:Laser optic fibre, Vibration characteristics, Vibration characteristic,
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