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    新型声表面波气体传感器
    A New Type of Surface Acoustic Wave Gas Sensors
      
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    中文摘要:
          介绍了声表面波（SAW）气体传感器的工作原理及器件制作，提出了1种表面波SO2传感器，它采用三乙醇胺（TEA）覆盖薄膜，分辨率可达70×10－9。还讨论了SAW气体传感器的稳定性、可靠性、灵敏度及选择性等问题，并给出了有关的实验结果。
    英文摘要:
          
    刘国锋  陈明
    西北工业大学9系!陕西省西安市，710072
    中文关键词:  声表面波 气体传感器 延迟线 振荡器
    英文关键词:Surface acousstic wave, Gas sensor, Delay line, Oscillator
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