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    接触式激光干涉仪的数据采集与处理系统
    Data Acquisition and Processing System of Contact Type of Laser Interferometers
      
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    中文摘要:
          讨论了接触式激光干涉议的数据采集与处理系统，其特点是性能稳定，操作灵活。实验证明，该系统满足仪器分辨率为0．01μm，重复性误差在0．03μm以内的要求。
    英文摘要:
          
    浦昭邦  范志刚
    哈尔滨工业大学!黑龙江省哈尔滨市150006
    中文关键词:  激光干涉仪 数据采集 微机 数据处理 干涉仪
    英文关键词:Laser interferometer, Data acquisition and processing,Microcomputer
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