共聚焦激光扫描显微镜在微小硬度压痕测量中的应用研究
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Application of Confocal Laser Scanning Microscope in Microvickers Hardness Indentation Measurement
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    摘要:

    尝试将共聚焦激光扫描显微镜应用于微小硬度压痕的测量中,不仅可以得到硬度压痕的三维形貌,而且利用共聚焦测量方法高分辨力的特点,解决了小于20μm的微小硬度压痕无法测量的难题;本文给出了测量微小硬度压痕的方法,并给出了具体步骤和实例;用所得到的压痕的三维形貌表征材料在压入过程中在压头周围所产生的堆积,可以扩展硬度测量的尺度,对于硬度测量的下一步发展具有积极的指导意义。

    Abstract:

    This paper attempts to apply confocal laser scanning microscope to the measurement of microvickers hardness indentation, which can not only obtain the three-dimensional shape of indentation, but also solve the problem that indentation less than 20 μm cannot be measured by using the characteristics of high-resolution of confocal measurement method. In this paper, the method,steps and examples of indentation measurement are given. The three-dimensional shape of the indentation can be used to characterize the accumulation of materials around the indenter during the pressing process, which can expand the scale of hardness measurement, and has a positive guiding significance for the next development of hardness measurement.

    参考文献
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    引证文献
引用本文

李杨,张凯林,石伟.共聚焦激光扫描显微镜在微小硬度压痕测量中的应用研究[J].计测技术,2019,39(6)::
10.11823/j. issn.1674-5795.2019.06.09.

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  • 在线发布日期: 2019-12-12
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