校准厚度片测量不确定度评定

校准厚度片测量不确定度评定
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中图分类号:TG81
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Evaluation of Uncertainity of Measurement about Film Thickness Calibration

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分析了用直接法和比较法测量覆层测厚仪校准厚度片厚度的不确定度来源,并就使用两种测量方法所得结果的不确定度进行了评定.

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参考文献

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引证文献

王树成,于志刚,李开,欧佳.校准厚度片测量不确定度评定[J].计测技术,2009,29(4):43~45:
[doi].

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