TH744.3
在超精密的测量和校准方面，激光干涉仪已经扮演多年极重要的角色。但是近年来，随着自动化位移系统性能的大幅提高，面对半导体和传统金属加工业的需求，现有激光系统的性能已无法满足一些客户的要求。[第一段]
.雷尼绍推出全新轻型激光干涉仪测量系统XL-80[J].计测技术,2007,27(2):54:[doi].
