满足一等量块检定要求的接触式激光量块干涉仪

满足一等量块检定要求的接触式激光量块干涉仪
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中图分类号:TH711.1
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A Type of Contact Laser Gauge Block Interferometer Meeting the Calibrating Requirement of Grade 1 Gauge Block

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最新研制的接触式激光量块干涉仪主要用于测量一、二等量块的中心长度，其长度测量不确定度达到（0.02 0.2L)μm。文中介绍了其工作原理、测量不确定度分析，给出了量块测量的验证数据。

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参考文献

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引证文献

赵静,王承钢,杨自本,汪德宝,牛立新,崔岩梅.满足一等量块检定要求的接触式激光量块干涉仪[J].计测技术,2002,(5):20~24:
[doi].

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