一种平面干涉系统的误差分离技术

一种平面干涉系统的误差分离技术
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中图分类号:TH744.3
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给出一个干涉系统等效平面和被测平面形貌的数学模型，用于分离仪器的系统误差，以提高面形和长度测量的精度。

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引证文献

严家骅任冬梅.一种平面干涉系统的误差分离技术[J].计测技术,1996,(4):29~31:
[doi].

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