摘要:NanometrologyandMeasurementTechnologyinNanometerScaleWangJia;ZhaoYang;ZhangShulian;LiDacheng;CaoMang（上接《航空计测技术》1995年第15卷第5期第34页）3精密重复运动的产生传感器产生相对于被测物体的高精度重复运动是尺寸计量的基本任务之一。被测物体上2点之间的距离最终必须用传感器测1点，然后移动传感器或物体，传感器能够位于第二点，同时确定运动距离。各种形式的成像显微镜都是1种化较仪器，他们将物体与标准尺进行瞄准比较，而校准尺将用规范的测显程序来确定。产生能精确地重复的直线运动是比建立参考轴线更为复杂…
