KeepingCurrenttheOPticalSurfaceRoughnessMeasurementWangGengxin1非接触粗糙度计测法概要表面粗糙度是决定各种工件外观及性能的重要因素之一。近年来，随着高新技术的发展，工业产品性能和品位的要求不断提高，超精密加工、软物质（铅、橡胶、塑料等）高精度加工的重要性日益突出，研究开发正确、迅速确定超精密加工面和软物质加工面的粗糙度对测技术，已成为当务之急。传统的表面粗糙度测定机，绝大多数采用触针式接触计测的方法，其理由是，使用触针计测时，与工件是物理性接触，能够制造出较高计测精度、价格又低的实用测定机。…