MEMS加速度传感器计量检测技术的研究进展

doi:10.11823/hkjcjs.1674-5795.2010.30.4.083.

首页 > 过刊浏览>2010年第30卷第4期 >5-8. DOI:10.11823/hkjcjs.1674-5795.2010.30.4.083.

MEMS加速度传感器计量检测技术的研究进展
DOI:
                        10.11823/hkjcjs.1674-5795.2010.30.4.083.
                    
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MEMS加速度传感器在计量检测中有着广泛的应用。本文综述了MEMS加速度传感器的发展概况,总结了其分类方法、工作原理及特点,并提出发展趋势。

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刘宇,鞠文斌,刘羽熙. MEMS加速度传感器计量检测技术的研究进展[J].计测技术,2010,30(4):5~8:
10.11823/hkjcjs.1674-5795.2010.30.4.083..

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