接触式干涉仪技术改造

接触式干涉仪技术改造
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中图分类号:TH744.3 TP212.1
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介绍了一种接触式干涉仪数字化改造的方法.改造后的接触式干涉仪采用高精度电感式位移传感器采集数据,由计算机直接输出测量报告;减少了人为的读数误差和对线误差,具有测量精度高、测量速度快、操作简单易掌握等优点.

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参考文献

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引证文献

何学军,张志权.接触式干涉仪技术改造[J].计测技术,2009,29(4):53~54:
[doi].

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