NIST检测氦离子显微镜技术

NIST检测氦离子显微镜技术
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中图分类号:TH742
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美国国家标准和技术研究院（NIST）的研究人员正在检测最新的显微镜技术。该技术能够进一步提高纳米级物体测量的精确度，而更精确的纳米级测量对半导体和纳米制造业确定标准和改进产品具有十分重要的意义：

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参考文献

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引证文献

. NIST检测氦离子显微镜技术[J].计测技术,2008,28(5)::
[doi].

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