压陷误差对厚度校准片校准结果的影响

压陷误差对厚度校准片校准结果的影响
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中图分类号:TH821.1
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主要介绍了在利用数显式电感测微仪对覆层测厚仪厚度校准片进行校准时,由测量力引起的压陷误差对校准结果的影响.

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引证文献

王树成,牛立新,唐云卿.压陷误差对厚度校准片校准结果的影响[J].计测技术,2008,28(3):53~54:
[doi].

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