电容式多孔硅湿敏元件初探

电容式多孔硅湿敏元件初探
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中图分类号:TP212
基金项目:国家自然科学基金

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阐述了电容式多孔硅湿敏元件的制备方法,并且研究了它的湿敏特性.实验结果表明:电容式多孔硅湿敏元件的电容值随着湿度的增大而显著增大,在中湿区(43.16%RH～68.86%RH)容湿特性为线性,而且有较小的湿滞.

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参考文献

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引证文献

涂楚辙,杨勇兵,贾振红,黄晓辉,李新刚,向梅.电容式多孔硅湿敏元件初探[J].计测技术,2006,26(Z1):62~64:
[doi].

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