双光束补偿扫描系统

双光束补偿扫描系统
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中图分类号:TG83
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System of scanning by Dual-laser beam Compensation

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摘要:

提出一种新的高精度大型平面扫描仪。利用双光束补偿系统，扫描头由一特殊光路组成。当入射光通过此光路后，产生对称输出的两束光。当入射光发生角漂或扫描头发生摆动时，输出的两束光对称上下漂移，其中心线保持不变，故扫描形成的基准面保持不变，从而大大提高了测量精度。经实验证明，测量精度优于2．5×10－6。

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参考文献

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引证文献

刘兴占梁晋文.双光束补偿扫描系统[J].计测技术,1998,(4):5~7,14:
[doi].

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