激光测振仪用于微梁和AFM探针振动测量

激光测振仪用于微梁和AFM探针振动测量
DOI:
                        
CSTR:
                        
作者:
                        
作者单位:
作者简介:
通讯作者:
中图分类号:O329
基金项目:

Applying Laser Fibre Optic Vibrometer to Measuring Vibration Characteristics of Microcantilever and AFM Probe

Author:

Affiliation:

Fund Project:

摘要:

激光光纤测振仪将直径小于200μm的激光光斑会聚于Si微悬臂梁和AFM探针上，分别由静电场和PZT进行激振，实现了激光微结构振动特性非接触测量，并给出了测量结果。

Abstract:

参考文献

相似文献

引证文献

王佳.激光测振仪用于微梁和AFM探针振动测量[J].计测技术,1996,(3):3~6:
[doi].

复制