高分辨率光电尺寸检测系统研究
DOI:
CSTR:
作者:
作者单位:

作者简介:

通讯作者:

中图分类号:

TH821

基金项目:


Research on Optoelectronic Dimension Measuring System with High Resolution
Author:
Affiliation:

Fund Project:

  • 摘要
  • |
  • 图/表
  • |
  • 访问统计
  • |
  • 参考文献
  • |
  • 相似文献
  • |
  • 引证文献
  • |
  • 资源附件
  • |
  • 文章评论
    摘要:

    论述了高分辨率光电尺寸检测系统的工作原理和系统总体结构,并给出了设计要点和提高系统分辨率的途径,本系统具有高速,高精度,非接触在线检测,测量结果直接数字显示和打印等特点。

    Abstract:

    This paper introduces the operating principle and total structure of the optoelectronicdimension measuring system with high resolution. The key points of its design and the methods forimproving system resolution are given. There are many features, such as high speed, high accuracy,non contract and on-line measurement, digital display and directly printing the results measured, in the system.

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

张国玉 安志勇.高分辨率光电尺寸检测系统研究[J].计测技术,1996,(2):6~9:
[doi].

复制
分享
文章指标
  • 点击次数:
  • 下载次数:
  • HTML阅读次数:
  • 引用次数:
历史
  • 收稿日期:
  • 最后修改日期:
  • 录用日期:
  • 在线发布日期:
  • 出版日期:
文章二维码