新型声表面波气体传感器

新型声表面波气体传感器
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中图分类号:TP212
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A New Type of Surface Acoustic Wave Gas Sensors

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介绍了声表面波（SAW）气体传感器的工作原理及器件制作，提出了1种表面波SO2传感器，它采用三乙醇胺（TEA）覆盖薄膜，分辨率可达70×10－9。还讨论了SAW气体传感器的稳定性、可靠性、灵敏度及选择性等问题，并给出了有关的实验结果。

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参考文献

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引证文献

刘国锋,陈明.新型声表面波气体传感器[J].计测技术,1995,(3):5~8:
[doi].

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