接触式激光干涉仪的数据采集与处理系统

接触式激光干涉仪的数据采集与处理系统
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中图分类号:TH744.3
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Data Acquisition and Processing System of Contact Type of Laser Interferometers

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讨论了接触式激光干涉议的数据采集与处理系统，其特点是性能稳定，操作灵活。实验证明，该系统满足仪器分辨率为0．01μm，重复性误差在0．03μm以内的要求。

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参考文献

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引证文献

浦昭邦范志刚.接触式激光干涉仪的数据采集与处理系统[J].计测技术,1994,(3):3~6:
[doi].

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